C05300 - SEMI C53 - Specifications for Dimethyl Sulfoxide (DMSO) [Grades 1 and 2] StdDcs-Current 注意： 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

注意：　本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

Due to the migration to large substrate sizes in FPD production

The scope of this Specification is all grades of methanol used in the semiconductor industry

and valves)

OC（オリエンテーションコーナ）により識別していた情報に加え，基板ごとのID等の情報を加えることができる。

C05300 - SEMI C53 - Specifications for Dimethyl Sulfoxide (DMSO) [Grades 1 and 2] StdDcs-Current 注意： 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。NOTICE: This Document was reapproved with minor editorial changes. The purpose of this Document is to standardize requirements for dimethyl sulfoxide used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards. Test methods have been shown to give statistically valid results. Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemicals