F02000 - SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼，鍛造品，押出成形品，鋼板，鋼管の仕様 StdPbc-0223 本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。

本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。

SEMI F20-0997 (technical revision)

2  Use — This Standard is used in conjunction with a SEMI Standard SAN CDM Specification and one or more SEMI Standard SDM Specifications (e

prohibitions

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F02000 - SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼，鍛造品，押出成形品，鋼板，鋼管の仕様 StdPbc-0223 本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Gases Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org199520067 316L 316L316LASTM A276ASTM A240ASTM A269A632 Referenced SEMI Standards None.